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潔凈厭氧高溫氣氛爐

  • 更新時間:  2020-06-08
  • 產(chǎn)品型號:  DTN430C/630C/450C/650C
  • 簡單描述
  • DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
詳細(xì)介紹

DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐工作溫度DTN430C/630C:360℃、DTN450C/650C:500℃,潔凈度100級,氧濃度20ppm,DTN430C內(nèi)容積為91L,DTN630C內(nèi)容積為216L,DTN450C內(nèi)容積為91L,DTN650C內(nèi)容積為216L。


●潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等
● 高工作溫度 360℃和 500℃、潔凈度 100 級、氧濃度低于20ppm,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓(光刻膠 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等
● 采用耐熱高性能高效過濾器,箱內(nèi)潔凈度始終保持在 100 級,可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低
● 通過磁密封保持高氣密性,并采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響
● 可實現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)
● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收
安全性
● 擁有門檢測開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護開關(guān)等安裝裝置

DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐的技術(shù)規(guī)格

 


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